EN
Đối với các nhà sản xuất bán dẫn và điện tử, phòng sạch không chỉ đơn thuần là một căn phòng; đây chính là trung tâm của nhà máy.
Thành phòng sạch đòi hỏi mức độ hiệu năng cao nhất khi xây dựng lớp bao bọc xung quanh thiết bị trị giá hàng triệu đô la Mỹ và các quy trình then chốt. Tấm phòng sạch đạt tiêu chuẩn chống cháy cấp A là một trong những thông số kỹ thuật quan trọng nhất được yêu cầu; chúng ta sẽ xem xét nguồn gốc của yêu cầu này cũng như cách thức đáp ứng hoạt động an toàn và độ tin cậy trong sản xuất bán dẫn.
Tại sao các buồng phòng sạch lại quan trọng trong sản xuất bán dẫn
Bao bọc phòng sạch thực chất là một khu vực kín, tách biệt hoàn toàn với thế giới bên ngoài. Việc sản xuất vi mạch đòi hỏi kiểm soát môi trường nghiêm ngặt do độ nhạy cảm cao của các tấm đĩa silicon đối với các chất gây nhiễm bẩn ở cấp độ vi mô — những chất này có thể dẫn đến thất bại toàn bộ lô sản xuất và tổn thất tài chính nghiêm trọng. Hệ thống bao bọc phải đáp ứng được các yêu cầu khắt khe như kiểm soát chặt chẽ các thông số môi trường (nhiệt độ, độ ẩm, chênh lệch áp suất) đồng thời cung cấp bề mặt trơn mượt, dễ làm sạch và không tạo điều kiện cho bụi bẩn tích tụ.
GLOSTAR (một nhà sản xuất hệ thống bao bọc kim loại giàu kinh nghiệm) thiết kế tất cả các tấm panel phòng sạch của mình nhằm đáp ứng đầy đủ các yêu cầu về kết cấu và hiệu năng dành riêng cho cơ sở sản xuất bán dẫn. Nhờ sở hữu các cơ sở sản xuất hiện đại cùng dây chuyền tự động hóa, mỗi tấm panel do GLOSTAR sản xuất đều đảm bảo môi trường phòng sạch ổn định và không bị nhiễm bẩn.
Kiểm soát hạt và khả năng làm sạch bề mặt
Duy trì một môi trường sạch là chức năng quan trọng nhất của phòng sạch, và cấu trúc bao bọc đóng vai trò chủ chốt trong việc này; GLOSTAR sử dụng các vật liệu siêu mịn và không thấm như thép đã sơn sẵn và thép không gỉ để chế tạo các tấm panel phòng sạch. Việc lựa chọn vật liệu này một phần nhằm mục đích thẩm mỹ, một phần để thuận tiện cho việc làm sạch, và một phần vì bề mặt mịn và không thấm giúp ngăn bụi bám tích tụ liên tục. Ngoài việc tạo thành rào cản vật lý, các tấm panel cũng không được tự sinh ra các hạt – nếu không, các chất gây ô nhiễm đã tích tụ có thể bị giải phóng vào môi trường sản xuất.
Việc đảm bảo những bề mặt này duy trì độ ổn định tuyệt đối trong suốt thời gian sử dụng các hóa chất tẩy rửa khắc nghiệt—đòi hỏi bắt buộc trong các môi trường sản xuất nhạy cảm—là điều hết sức quan trọng; GLOSTAR hiểu rõ rằng việc phải thường xuyên sử dụng hóa chất sẽ gây hao mòn sản phẩm của họ, do đó các tấm panel của họ được chế tạo từ vật liệu chống ăn mòn, có khả năng chịu đựng ngay cả những hóa chất mài mòn nhất. Kết hợp với các mối nối kín khí mà GLOSTAR thiết kế cho hệ thống mô-đun của mình, các sản phẩm này rất phù hợp để đáp ứng các cấp độ phòng sạch ISO 14644.
Yêu cầu an toàn cháy nổ dành cho cơ sở bán dẫn
An toàn không thể là yếu tố được xem xét sau cùng trong ngành sản xuất bán dẫn do sự hiện diện của các vật liệu cực kỳ nguy hiểm (HPM) bên trong, chẳng hạn như khí dễ cháy và khí tự bốc cháy. Tiêu chuẩn NFPA 318 – Tiêu chuẩn về Bảo vệ Các Cơ sở Sản xuất Bán dẫn – đưa ra các quy tắc và quy định nghiêm ngặt khi đánh giá an toàn bán dẫn trước các mối nguy cháy nổ. Cháy có thể lan rộng rất nhanh tại các cơ sở này do những rủi ro cao như vậy, đồng thời giá trị của sản phẩm đang được sản xuất là vô cùng lớn.
Đây chính xác là lý do vì sao các cơ sở bán dẫn đòi hỏi các tấm phòng sạch đạt tiêu chuẩn chống cháy. Các tấm làm từ len đá và magie oxit (MgO) của GLOSTAR đáp ứng tiêu chuẩn GB8624 cấp A không cháy – chúng không nóng chảy hay nhỏ giọt, đồng thời sinh ra lượng khói tối thiểu, tạo điều kiện thiết yếu cho việc sơ tán và mang lại vài phút quý báu cho lực lượng chữa cháy để kiểm soát tình huống. Len đá và MgO hoạt động như một rào cản chống cháy, đảm bảo một phần đáng kể tấm vẫn chịu được tác động của ngọn lửa dữ dội.
Vật liệu phát thải thấp và rủi ro ô nhiễm
Mặc dù mối lo ngại chính trong môi trường phòng sạch là bụi dạng hạt—như đã nêu và được xử lý trên bề mặt—đôi khi các hạt này lại không thể quan sát bằng mắt thường, và chúng chính là các chất gây ô nhiễm phân tử trong không khí (AMC). Một số lõi tấm nhất định, ví dụ như xốp polystyrene giãn nở (EPS), sẽ giải phóng một lượng nhỏ hợp chất hữu cơ dễ bay hơi (VOC) theo thời gian—do đó gây ra ô nhiễm hóa học trong phòng sạch và làm giảm tỷ lệ thành phẩm vi mạch.
Lựa chọn của GLOSTAR sử dụng đá bông hoặc MgO cho sản phẩm tấm phòng sạch có khả năng chống cháy dành cho ngành điện tử có đặc tính giải phóng VOC rất thấp—đây là lợi ích lớn đối với mọi nhà sản xuất điện tử nhạy cảm, những người không muốn môi trường sản xuất bị ô nhiễm. Lớp bề mặt của sản phẩm cũng hoàn toàn không phản ứng với bất kỳ thành phần nào hiện diện trong phòng sạch.
Kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm
Duy trì nhiệt độ và độ ẩm lý tưởng trong cơ sở sản xuất bán dẫn là điều thiết yếu; nếu không kiểm soát chặt chẽ, sự giãn nở và co lại do nhiệt ở các bộ phận có độ quan trọng cao như trong quy trình quang khắc sẽ gây trôi lệch kết quả, từ đó làm giảm năng suất tổng thể. Tấm GLOSTAR cung cấp khả năng cách nhiệt tối đa nhờ lõi bông khoáng chịu nhiệt xuất sắc và cấu trúc kín khít, giúp giảm thiểu rò rỉ không khí và giữ hiệu quả hơn không khí đã được điều hòa bên trong môi trường, nghĩa là tiêu thụ ít năng lượng hơn đáng kể.
Cách chọn tấm phòng sạch cho cơ sở sản xuất bán dẫn
Một số yếu tố cần cân nhắc khi lựa chọn tấm phòng sạch cho cơ sở sản xuất bán dẫn gồm:
Đánh giá khả năng chống cháy – Tất cả phòng sạch đều yêu cầu tấm có xếp hạng chống cháy; tấm loại A không cháy được là bắt buộc theo tiêu chuẩn NFPA 318, và tấm bông khoáng cùng tấm MgO của GLOSTAR đáp ứng đầy đủ yêu cầu này.
Vật liệu bề mặt ‑ Thép đã sơn sẵn có khả năng chống ăn mòn cao và thép không gỉ đều có lợi cho khả năng chống chịu tác động của hóa chất; GLOSTAR cung cấp cả hai loại vật liệu này dưới nhiều định dạng chống ăn mòn khác nhau.
Vật liệu lõi ‑ Lõi bông khoáng đá hoặc MgO không chỉ mang lại khả năng chống cháy cực cao mà còn có hiệu quả cách âm; tuy nhiên, nếu người dùng yêu cầu đạt cấp độ phòng sạch tối đa theo tiêu chuẩn ISO 1–5, thì lõi tổ ong nhôm sẽ đáp ứng được yêu cầu nhờ đặc tính hoàn toàn không phát thải khí (non-out-gassing), từ đó loại bỏ một nguồn gây nhiễm bẩn tiềm tàng.
Phân loại phòng sạch ‑ Tấm hệ thống phải được thiết kế phù hợp với cấp độ phòng sạch yêu cầu. GLOSTAR cung cấp các tấm phù hợp cho mọi cấp ISO, đồng thời cũng có tùy chọn theo yêu cầu riêng. GLOSTAR có khả năng cung cấp tấm phù hợp cho mọi loại phòng sạch và cũng có thể gia công theo yêu cầu cụ thể.
Năng lực sản xuất ‑ Khi khối lượng sản xuất yêu cầu rất lớn, năng lực sản xuất của nhà sản xuất phải đáp ứng đúng thông số kỹ thuật do khách hàng đề ra; và cơ sở GLOSTAR tại Sơn Đông, kết hợp cùng nhà máy tại An Huy, hoàn toàn đáp ứng được điều này, với tổng công suất sản xuất đạt 20 triệu m²/năm; nhờ đó có thể giao hàng số lượng lớn trong khung thời gian hợp lý.
Với các chứng nhận ISO 9001, ISO 14001 và chứng nhận công trình xanh, bản thân các tấm panel của GLOSTAR đạt tiêu chuẩn cao nhất. Được hỗ trợ bởi những thương hiệu uy tín trên khắp các ngành công nghiệp như LG, Foxconn, Audi, Volkswagen, Sinopharm và Tsingtao Beer, GLOSTAR là đối tác hạng nhất để lựa chọn nhằm đảm bảo quy trình sản xuất luôn duy trì ở mức cao nhất thông qua việc sử dụng sản phẩm đã được kiểm định chất lượng tấm phòng sạch có khả năng chống cháy dành cho ngành điện tử . Đối với sản xuất điện tử, các tấm bảng loại A rất quan trọng; chúng có thể trông không đặc biệt, nhưng lại mang ý nghĩa lớn hơn bạn tưởng rất nhiều đối với các ngành công nghiệp yêu cầu độ chính xác cao như cơ sở sản xuất bán dẫn – nơi an toàn của thiết bị trị giá hàng triệu đô la phụ thuộc vào chúng.
