Prečo elektronické a polovodičové závody špecifikujú požiarnu triedu A pre panely čistých miestností

Pre výrobcov polovodičov a elektroniky nie je čistá miestnosť len jednou miestnosťou; je to jadro továrne.

Steny čistej miestnosti vyžadujú najvyššiu úroveň výkonu pri vytváraní obalu okolo vybavenia za niekoľko miliónov dolárov a kritických procesov. Panely s triedou požiarnej odolnosti A patria medzi najdôležitejšie požadované špecifikácie; preskúmame, odkiaľ tento požiadavok vyplýva a ako zabezpečuje bezpečný prevádzkový režim a spoľahlivosť výroby polovodičov.

Prečo sú uzavreté čisté miestnosti dôležité pri výrobe polovodičov

Obal čistého priestoru je v skutočnosti uzavretou svätyňou od vonkajšieho sveta. Výroba mikročipov vyžaduje prísne kontrolu prostredia kvôli citlivosti kremíkových platní na mikroskopické kontaminanty, ktoré môžu spôsobiť úplnú stratu celej dávky a obrovské finančné straty. Musí vyhovovať náročným špecifikáciám, ako sú presné kontroly prostredia (teplota, vlhkosť, rozdiel tlakov), a ponúka hladké, ľahko čistiteľné povrchy, ktoré nepodporujú hromadenie častíc.

GLOSTAR (skúsený výrobca systémov kovových obalov) navrhuje všetky svoje panely pre čisté priestory tak, aby spĺňali štrukturálne a výkonnostné požiadavky zariadení na výrobu polovodičov. Využitím pokročilých výrobných zariadení s automatickými výrobnými linkami každý vyrobený panel zaručuje kontamináciu voľný, stabilný čistý priestor.

Kontrola častíc a čistiteľnosť povrchu

Udržiavanie čistého prostredia je najdôležitejšou funkciou čistej miestnosti a obal (kryt) v tomto hral veľkú úlohu; GLOSTAR používa extrémne hladké a nepriepustné materiály, ako sú predlakovaná oceľ a nehrdzavejúca oceľ, na výrobu panelov pre čisté miestnosti. Toto sa robí čiastočne z estetických dôvodov, čiastočne kvôli jednoduchosti čistenia a čiastočne preto, lebo hladký a nepriepustný povrch bráni usadzovaniu sa prachu. Okrem vytvorenia fyzickej bariéry nesmú panely samy uvoľňovať častice – inak by sa nahromadené kontaminanty mohli uvoľniť do výrobného prostredia.

Je kľúčové, aby tieto povrchy zostali úplne stabilné pri dlhodobom používaní agresívnych čistiacich prostriedkov, ktoré vyžadujú citlivé výrobné prostredia; GLOSTAR vie, že ak sa chemikálie musia používať často, bude to mať negatívny vplyv na ich výrobky, preto ich panely boli vyrobené z materiálov odolných voči korózii, ktoré vydržia dokonca aj najagresívnejšie chemikálie. Spolu s tesnými spojmi, ktoré GLOSTAR navrhli pre svoje modulárne systémy, sú tieto panely veľmi vhodné na podporu čistoty v priestoroch podľa normy ISO 14644.

Požiadavky na požiarnu bezpečnosť polovodičových zariadení

Bezpečnosť nesmie byť v polovodičovom výrobe považovaná za vedľajšiu záležitosť, pretože v tejto oblasti sa vyskytujú vysoke rizikové materiály (HPM), napríklad pyroforické a horľavé plyny. Norma NFPA 318 – Štandard na ochranu zariadení na výrobu polovodičov – stanovuje prísne pravidlá a predpisy týkajúce sa ochrany polovodičov pred požiarnymi nebezpečenstvami. Požiar sa v takýchto zariadeniach môže veľmi rýchlo šíriť v dôsledku vysokého rizika a hodnota vyrábaných položiek je obrovská.

Práve preto vyžadujú zariadenia na výrobu polovodičov požiarnou odolnosťou vybavené čisté miestnosti s panelmi. Panelové systémy GLOSTAR z kamenného vlny a oxidu horčíka (MgO) spĺňajú čínsky štandard GB8624 triedy A – nehorľavé materiály: neroztávajú ani nekvapkajú a produkujú minimálne množstvo kúra, čo umožňuje kritický čas na evakuáciu a poskytuje hasičom rozhodujúce minúty na získanie kontroly nad požiarom. Kamenná vlna a MgO pôsobia ako požiarny bariéra, čím zabezpečujú, že významná časť panelu odolá intenzívnemu požiaru.

Materiály s nízkou emisiou a riziká kontaminácie

Hlavnou obavou v čistých miestnostiach je prítomnosť prachových častíc – ako už bolo spomenuté a prekonané na povrchu – niekedy však častice nie sú viditeľné a ide o AMCs (molekulárnu kontamináciu vzduchu). Niektoré jadrá dosiek, napríklad rozšírený polystyrén (EPS), postupne uvoľňujú stopové množstvá летúcich organických zlúčenín (VOCs), čo spôsobuje chemickú kontamináciu v čistej miestnosti a zníženie výťažku čipov.

Voľba GLOSTARu buď horninová vlna alebo MgO pre ich požiarno odolné panely pre čisté miestnosti pre elektroniku má nízke charakteristiky uvoľňovania VOCs – čo predstavuje veľký prínos pre akéhokoľvek citlivého výrobcu elektroniky, ktorý nechce kontamináciu svojho prostredia. Ich povrchové vrstvy sa tiež vôbec nereagujú s obsahom čistej miestnosti.

Kontrola teploty a vlhkości

Udržiavanie ideálnej teploty a vlhkosti v zariadení na výrobu polovodičov je nevyhnutné; bez prísneho riadenia by sa tepelné rozťažovanie a zmršťovanie pri litografii alebo iných veľmi kritických komponentoch spôsobilo posun výsledkov, čo by opäť viedlo k stratám celkovej výťažnosti. Panelové systémy GLOSTAR ponúkajú maximálnu tepelnú izoláciu vďaka vynikajúcim jadrom z tepelne odolnej kamennej vlny a dobre uzatvorenej konštrukcii, ktorá minimalizuje únik vzduchu a umožňuje oveľa efektívnejšie udržiavanie kondicionovaného vzduchu vo vnútornom prostredí – čo znamená výrazne nižšiu spotrebu energie.

Ako vybrať panelové systémy pre čisté miestnosti v zariadeniach na výrobu polovodičov

Niektoré faktory, ktoré je potrebné zohľadniť pri výbere panelových systémov pre čisté miestnosti v zariadeniach na výrobu polovodičov, sú:

Požiarna trieda – všetky čisté miestnosti vyžadujú panely s požiarnou odolnosťou; podľa normy NFPA 318 sú povinné panely triedy A (nehorľavé), ktoré ponúkajú panely z kamennej vlny a MgO od spoločnosti GLOSTAR.

Predný materiál – vysoko koróziou odolná predlakovaná oceľ a nehrdzavejúca oceľ sú výhodné pre odolnosť voči chemickému pôsobeniu; GLOSTAR ponúka oba tieto materiály v rôznych koróziou odolných formátoch.

Jadrový materiál – žulová vlna alebo MgO jadro neposkytujú len extrémnu požiarnu odolnosť, ale aj zvukovú izoláciu; ak však používateľ vyžaduje maximálnu čistotu čistých miestností podľa triedy ISO 1–5, poskytuje ju hliníkové plničové jadro, ktoré vôbec nevydáva žiadne plyny, čím sa odstraňuje jeden možný zdroj kontaminácie.

Klasifikácia čistých miestností – panelový systém musí byť navrhnutý pre požadovanú klasifikáciu čistej miestnosti. GLOSTAR ponúka vhodné panely pre všetky triedy ISO, vrátane individuálne prispôsobiteľných možností. GLOSTAR je schopný poskytnúť vhodné panely pre všetky typy čistých miestností a tiež ich môže individuálne upraviť podľa požiadaviek.

Výrobná kapacita – Keď sú požadované výrobné objemy veľké, musí výrobná schopnosť výrobcu spĺňať špecifikácie zákazníka. Túto schopnosť má výrobné zariadenie GLOSTAR v Šan-tungu spolu s jeho továrnou v An-chueji, ktoré dohromady vyrábajú 20 miliónov m² za rok; čo umožňuje hromadnú dodávku v rozumnom časovom rámci pre veľké objednávky.

Certifikáty GLOSTAR – ISO 9001, ISO 14001 a certifikáty pre ekologické budovy – zaisťujú, že samotné panely spĺňajú najvyššie štandardy. GLOSTAR je partnerom prvej triedy, ktorého výber zabezpečuje, že výroba zostane na najvyššej úrovni prostredníctvom používania kvalitou overených komponentov. Spoločnosť má podporu dôveryhodných značiek z rôznych odvetví, ako sú LG, Foxconn, Audi, Volkswagen, Sinopharm a Tsingtao Beer. požiarno odolné panely pre čisté miestnosti pre elektroniku . Pre výrobu elektroniky sú panely triedy A kľúčové; nemusia vyzeráť nijako špeciálne, no pre veľmi citlivé odvetvia, ako je výroba polovodičov – kde bezpečnosť vybavenia v hodnote miliónov dolárov závisí od nich – znamenajú omnoho viac, než by ste si mohli predstaviť.