Puslaidininkių ir elektronikos gamintojams valymo patalpos yra daugiau nei tik patalpa; tai yra gamyklos branduolys.
Statant apvalkalą aplink milijonų dolerių vertės įrangą ir kritinius procesus, valymo patalpų sienoms reikalingas aukščiausias našumo lygis. A klasės ugniai atsparūs skydai yra vienas svarbiausių būtinų techninių reikalavimų; mes išnagrinėsime, iš kur šis reikalavimas kilęs ir kaip jis užtikrina puslaidininkių gamybos saugų veikimą bei patikimumą.
Kodėl valymo patalpų apvalkalai yra svarbūs puslaidininkių gamyboje
Valymo patalpa iš esmės yra hermetiškai uždaryta šventovė, izoliuota nuo išorinio pasaulio. Mikroschemų gamybai reikalingas griežtas aplinkos kontrolė, nes silicio plokštelės yra labai jautrios mikroskopinėms priemaišoms, kurios gali sukelti visos partijos praradimą ir didžiulius finansinius nuostolius. Ji turi atitikti reikalavimus, pvz., tikslų aplinkos parametrų (temperatūros, drėgmės, slėgio skirtumo) kontrolę, taip pat turėti lygius, lengvai valomus paviršius, kurie neleistų dalelių kaupimosi.
GLOSTAR (patyrusi metalinių apvalkalų sistemų gamintoja) visus savo valymo patalpų skydelius projektuoja taip, kad jie atitiktų puslaidininkių gamybos įrenginių konstrukcinius ir eksploatacines reikalavimus. Naudojant pažangias gamybos įrangą su automatinėmis gamybos linijomis, kiekvienas pagamintas skydelis užtikrina nekontaminuotą, stabilų valymo patalpos veikimą.
Dalelių kontrolė ir paviršiaus valymo galimybė
Švarios aplinkos palaikymas yra svarbiausia valymo patalpos funkcija, o apsauginė konstrukcija šiame procese atlieka lemiamą vaidmenį; GLOSTAR savo valymo patalpų plokštes gamina iš itin lygių ir neperšviečiamų medžiagų, tokių kaip iš anksto dažyta plieno ir nerūdijančiojo plieno. Tai padaryta dalinai dėl estetinių sumetimų, dalinai dėl lengvo valymo, o dalinai todėl, kad lygi ir neperšviečiama paviršiaus struktūra neleidžia dulkių kauptis. Be fizinės kliūties sukūrimo, plokštės neturi patys išsklaidyti dalelių – kitaip susikaupusi tarša galėtų patekti į gamybos aplinką.
Ypač svarbu, kad šios paviršiaus būtų visiškai stabilios ilgalaikiu naudojant agresyvius valymo chemikalus, kurie reikalingi jautriose gamybos aplinkose; GLOSTAR žino, kad jei chemikalus reikia naudoti dažnai, tai nevengiamai paveiks jų produktus, todėl jų plokštės sukurtos iš korozijai atsparių medžiagų, kurios gali atlaikyti net labiausiai šiurkščiausius chemikalus. Kartu su sandarios konstrukcijos sąjungomis, kurias GLOSTAR sukūrė savo modulinėms sistemoms, jos puikiai tinka ISO 14644 švaraus kambario lygiams palaikyti.

Gaisrinės saugos reikalavimai puslaidininkių įrenginiams
Saugumas negali būti po mintis puslaidininkių gamybos pramonėje dėl labai pavojingų medžiagų (HPM) buvimo, pvz., piriforinių ir degių dujų. NFPA 318 – Standartas puslaidininkių gamybos įrenginių apsaugai – nustato griežtus taisyklių ir reikalavimų rinkinį, kai vertinama puslaidininkių apsauga nuo gaisro pavojų. Gaisras šiuose įrenginiuose gali greitai plisti dėl tokių didelių rizikų, o tai, kas čia gaminama, turi nepaprastą vertę.
Todėl būtent puslaidininkių įrenginiai reikalauja gaisrui atsparių švariosios patalpos plokščių. GLOSTAR akmenų vatos ir magnio oksido (MgO) plokštės atitinka GB8624 klasės A nešiluminės medžiagos standartus – jos netirpsta ir nesilašina, taip pat išskleidžia minimalų dūmų kiekį, leisdamos svarbią evakuacijos laiko trukmę ir suteikdamos gaisrininkams esminius minutes, kad įveiktų gaisrą. Akmenų vata ir MgO veikia kaip gaisro barjeras, užtikrindami, kad reikšminga plokštės dalis išlaikytų intensyvaus gaisro poveikį.
Žemo išmetimo medžiagos ir užteršimo rizikos
Kai tikslas švariosios patalpos aplinkoje yra dalelių dulkių pašalinimas – kaip minėta ir įveikta paviršiuje – kartais dalelės būna nematomos, o tai yra AMCs (oro molekulinis užteršimas). Kai kurie plokščių šerdies tipai, pvz., išplėstasis polistirolas (EPS), laikui bėgant išsklaido nedidelius lakiojo organinio junginio (VOC) kiekius – todėl švariosios patalpos aplinkoje atsiranda cheminis užteršimas, kuris sumažina mikroschemų gamybos našumą.
GLOSTAR pasirinkimas naudoti uolienos vatos arba MgO medžiagas savo ugniai atsparūs valymo kambario skydeliai elektronikos pramonei turi žemą VOC išsklaidymo lygį – tai labai naudinga bet kuriai jautrių elektroninių prietaisų gamintojai, kuri nenori, kad jos aplinka būtų užteršta. Jų dangos taip pat visiškai nereaguoja su tuo, kas yra švariojoje patalpoje.
Temperatūros ir drėgmės kontrolė
Tikslus temperatūros ir drėgmės palaikymas puslaidininkių gamybos įrenginyje yra būtinas; be tikslaus kontrolės šiluminis plėtimasis ir susitraukimas litografijos ar kitose labai kritinėse dalyse sukelia rezultatų nukrypimą, dėl ko vėl mažėja bendras naudingumo koeficientas. GLOSTAR plokštės užtikrina maksimalią šiluminę izoliaciją dėka puikių šilumai atsparių uolienos vatos šerdžių ir gerai hermetiškos konstrukcijos, kuri mažina oro nutekėjimą ir padaro daug efektyvesnį kondicionuoto oro išlaikymą patalpoje, todėl energijos sąnaudos žymiai sumažėja.

Kaip pasirinkti valymo patalpų plokštes puslaidininkių gamybos įrenginiams
Pasirinkdami valymo patalpų plokštes puslaidininkių gamybos įrenginiui, reikėtų atsižvelgti į šiuos veiksnius:
Gaisrinė klasifikacija – visoms valymo patalpoms reikalingos gaisrinėms apkrovoms atsparios plokštės; NFPA 318 standarto reikalavimai nustato A klasės nedegias plokštes, kurias GLOSTAR siūlo iš uolienos vatos ir MgO medžiagų.
Veido medžiaga – labai korozijai atsparus iš anksto dažytas plienas ir nerūdijantis plienas yra naudingi cheminių medžiagų poveikiui atlaikyti; GLOSTAR siūlo abu šiuos variantus įvairiose korozijai atspariose modifikacijose.
Šerdies medžiaga – uolienos vatos arba MgO šerdies ne tik puikiai atlaiko ugnį, bet taip pat slopina garsą; tačiau jei vartotojui reikia maksimalaus valymo kambarių klasifikavimo pagal ISO 1–5 standartus, aliuminio šešėlinės struktūros šerdies variantas tai užtikrina, nes ji visiškai neturi išgaravimo savybių, todėl pašalinama viena galima užteršimo priežastis.
Valymo kambarių klasifikavimas – sistemos plokštės turi būti suprojektuotos reikalaujamam valymo kambarių klasifikavimui. GLOSTAR siūlo tinkamas plokštes visoms ISO klasėms, taip pat galima pasirinkti individualius variantus. GLOSTAR gali tiekti tinkamas plokštes visų tipų valymo kambariams ir taip pat jas pritaikyti konkrečioms reikmėms.
Gamybos galios – Kai reikalingi dideli gamybos apimtys, gamintojo gamybos gebėjimai turi atitikti kliento specifikacijas, ką užtikrina GLOSTAR gamybos įmonė Šandongo provincijoje kartu su jos gamykla Anhui provincijoje, kurios bendra metinė gamyba siekia 20 mln. kvadratinių metrų; tai leidžia masiškai pristatyti net ir labai didelius užsakymus per priimtinus laiko intervalus.
Turėdama sertifikatus ISO 9001, ISO 14001 bei žaliųjų pastatų sertifikatus, GLOSTAR plokštės patenka į aukščiausios kokybės standartus. Remiamos patikimų prekių ženklių iš įvairių pramonės šakų, tokių kaip LG, Foxconn, Audi, Volkswagen, Sinopharm ir Tsingtao Beer, GLOSTAR yra aukščiausios klasės partnerė, kurią pasirenkant galima užtikrinti aukščiausios kokybės gamybą, remiantis kokybės patikrinimu ugniai atsparūs valymo kambario skydeliai elektronikos pramonei . Elektronikos gamybai klasės A plokštės yra esminės; jos gali neatrodyti kaip niekuo išskirtinės, tačiau jų reikšmė labai aukštos tikslumo pramonės šakoms, pvz., puslaidininkių gamybos įmonėms, yra daug didesnė, nei galima įsivaizduoti – čia milijonų dolerių vertės įrangos sauga priklauso nuo jų.

Turinys
- Kodėl valymo patalpų apvalkalai yra svarbūs puslaidininkių gamyboje
- Dalelių kontrolė ir paviršiaus valymo galimybė
- Gaisrinės saugos reikalavimai puslaidininkių įrenginiams
- Žemo išmetimo medžiagos ir užteršimo rizikos
- Temperatūros ir drėgmės kontrolė
- Kaip pasirinkti valymo patalpų plokštes puslaidininkių gamybos įrenginiams